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吴凯峰
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上海交通大学
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自动化与计算机技术
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合作作者
王慧颖
上海交通大学
汪红
上海交通大学
丁桂甫
上海交通大学
张亚舟
上海交通大学
孙云娜
上海交通大学
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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王慧颖
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV 材料力学性能 铜互连 封装设计 干膜
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罗江波
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV 硅基 子层 复合介质 高深宽比
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孙云娜
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV 硅基 工质 子层 高深宽比
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戴旭涵
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微机械 电磁驱动 线圈绕组
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张亚舟
供职机构:上海交通大学
研究主题:硅基 子层 TSV 旋涂 光刻胶
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