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尚瑛琦

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：环境科学与工程自动化与计算机技术化学工程更多>>

合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 4个化学工程
  • 4个自动化与计算...
  • 3个环境科学与工...
  • 1个电气工程

主题

  • 5个湿法腐蚀
  • 4个加速度
  • 4个感器
  • 4个TMAH
  • 4个KOH
  • 4个传感
  • 3个电阻
  • 3个湿法加工
  • 3个速度传感器
  • 3个特性分析
  • 3个凸角补偿
  • 3个温度系数
  • 3个流量传感器
  • 3个面粗糙度
  • 3个蓝宝
  • 2个低应力
  • 2个压力传感器
  • 2个应力
  • 2个应力测试
  • 2个正交

机构

  • 4个中国电子科技...
  • 3个中国电子科技...
  • 1个中国电子科技...

资助

  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家自然科学...

传媒

  • 4个中国新技术新...
  • 3个仪表技术与传...
  • 3个传感器与微系...
  • 2个信息技术
  • 2个微纳电子技术
  • 1个半导体技术
  • 1个电子工艺技术
  • 1个电子世界
  • 1个中国科技信息
  • 1个电子材料与电...
  • 1个电子工业专用...
  • 1个中文科技期刊...

地区

  • 2个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
张岩
供职机构：中国电子科技集团公司
研究主题：湿法腐蚀 KOH TMAH 薄膜电阻 流量传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘智辉
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题：充油式 充油 高温高压 复合传感器 温度补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
齐虹
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题：流量传感器 微机电系统 湿法腐蚀 传感器芯片 MEMS工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓光
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题：干法刻蚀 刻蚀速率 均匀性 等离子体刻蚀 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈婧
供职机构：中国电子科技集团公司
研究主题：太阳能电池 大尺寸 触摸 冲槽 液晶显示器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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