2024年12月31日
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孙云娜
作品数:
33
被引量:4
H指数:1
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上海交通大学
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合作作者
丁桂甫
上海交通大学
王艳
上海交通大学
牛迪
上海交通大学
汪红
上海交通大学
张亚舟
上海交通大学
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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王艳
供职机构:上海交通大学
研究主题:金属 散热器 宗白华 惯性开关 工质
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牛迪
供职机构:上海交通大学
研究主题:高温 TSV 高温合金 高深宽比 干膜
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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罗江波
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV 硅基 子层 复合介质 高深宽比
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张亚舟
供职机构:上海交通大学
研究主题:硅基 子层 TSV 旋涂 光刻胶
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姚明山
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV 机械可靠性 零部件入厂物流 粗晶 复合结构
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研究主题:电镀 微机电系统 微加工 阴极 碳纳米管
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杨卓青
供职机构:上海交通大学
研究主题:绝缘衬底 惯性开关 微机电系统技术 蛇形弹簧 微机电系统
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任宇芬
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV 硅基 绝缘膜 子层 电镀
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