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王晓卫

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

领域

  • 1个电子电信
  • 1个自动化与计算...

主题

  • 2个氧化炉
  • 2个气体泄漏
  • 2个气体压力
  • 1个电偶
  • 1个电器
  • 1个电器控制
  • 1个电器控制系统
  • 1个电热
  • 1个调节装置
  • 1个信号
  • 1个信号调节
  • 1个信息发送
  • 1个真空度
  • 1个生产环境
  • 1个排气
  • 1个排气净化
  • 1个排气净化装置
  • 1个气体流量
  • 1个气体浓度
  • 1个热电偶

机构

  • 2个北京七星华创...

传媒

  • 1个电子工业专用...

地区

  • 2个北京市
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程朝阳
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 氧化炉 立式 扩散炉 立式炉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾艳丽
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：氧化炉 传送 报警系统 安全门 安全报警
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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