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周厉颖
作品数:
31
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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经济管理
动力工程及工程热物理
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合作作者
孙少东
北京七星华创电子股份有限公司
王艾
北京七星华创电子股份有限公司
王丽荣
北京七星华创电子股份有限公司
董金卫
北京七星华创电子股份有限公司
张乾
北京七星华创电子股份有限公司
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孙少东
供职机构:淮安信息职业技术学院
研究主题:炉体 半导体 立式 半导体工艺设备 立式炉
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王艾
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体 硅片 立式炉 加热器 温度补偿方法
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王丽荣
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 排气 半导体 门锁 阀门
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董金卫
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 立式 氧化炉 热偶 半导体
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所获资助
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张乾
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 炉体 温度补偿方法 温度补偿 半导体
发表作品
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所获资助
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侯建明
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 半导体工艺设备 冷却介质 进排风系统 阀门驱动装置
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赵燕平
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 炉体 立式炉 半导体 热处理炉
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徐冬
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 承载器 半导体 异常状态 半导体设备
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孙晋博
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:层流 氧化炉 保护装置 半导体 缸体
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