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徐光伟
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中国科学院微电子研究所
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一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
王伟
中国科学院微电子研究所
刘明
中国科学院微电子研究所
李泠
中国科学院微电子研究所
卢年端
中国科学院微电子研究所
陆丛研
中国科学院微电子研究所
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李泠
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 晶体管 电极 沟道 介质层
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王伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电极 薄膜晶体管 介质层 接触电阻 电流
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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所获资助
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卢年端
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 晶体管 衬底 介质层
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陆丛研
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:薄膜晶体管 存储器 衬底 介质层 沟道
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姬濯宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:有机半导体 绝缘衬底 有机场效应晶体管 介质层 晶体管结构
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高南
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:大高宽比 衬底 测量方法 波带片 衍射元件
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王龙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电极 保护层 绝缘层 介质层 接触电阻
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