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闫冠勇

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>

合作作者

领域

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  • 4个电子电信
  • 3个自动化与计算...
  • 3个理学
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  • 2个电气工程
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主题

  • 4个特殊设计
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机构

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  • 4个中国科学院大...
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  • 1个中国科学院
  • 1个中国科学院研...

资助

  • 4个国家自然科学...
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  • 1个中国科学院“...

传媒

  • 4个光学学报
  • 2个光电子．激光
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地区

  • 4个上海市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李兆泽
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：MEMS 微推进器 掩模 光源 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨济硕
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 像差 主成分 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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