2025年1月30日
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杨红
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
王文武
中国科学院微电子研究所
马雪丽
中国科学院微电子研究所
王晓磊
中国科学院微电子研究所
李永亮
中国科学院微电子研究所
殷华湘
中国科学院微电子研究所
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王文武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
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马雪丽
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 阈值电压 沟道 介质层 半导体结构
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王晓磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 界面层 阈值电压 半导体 金属栅
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李永亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 半导体 晶体管 源区
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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韩锴
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 界面层 金属栅 阈值电压 介质层
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闫江
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
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张严波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 金属栅 衬底 背栅 沟道
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罗军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 金属硅化物 衬底 半导体
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徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
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