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卢云君
卢云君
作品数:
72
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供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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自动化与计算机技术
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合作作者
王向朝
中国科学院大学
唐锋
中国科学院上海光学精密机械研究...
郭福东
中国科学院上海光学精密机械研究...
刘洋
中国科学院上海光学精密机械研究...
冯鹏
中国科学院上海光学精密机械研究...
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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唐锋
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
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郭福东
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉仪 子孔径拼接 运动控制器 波像差 电机驱动器
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刘洋
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光纤激光器 激光器 望远镜 相干合成 光谱数据
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冯鹏
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉图 干涉仪 波前传感器 分波 剪切
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李中梁
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:正弦相位调制 偏振 医用光学 斯托克斯参量 干涉仪
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李杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 投影物镜 剪切干涉 剪切干涉仪 子孔径拼接
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张国先
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 相移器 投影物镜 测量仪
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徐静浩
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:宽光谱 显微物镜 衍射极限 光学系统 光谱仪
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朱鹏辉
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 投影物镜 点光源 子孔径拼接 测试技术
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