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杨威风
作品数:
8
被引量:12
H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第十六研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
李超波
中国科学院微电子研究所
汪明刚
中国科学院微电子研究所
刘杰
兰州大学物理科学与技术学院
夏洋
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
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汪明刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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刘杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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胡冬冬
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:进气结构 启辉 刻蚀系统 刻蚀工艺 室内气流
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丁晓杰
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:高温超导 高温超导滤波器 超导滤波器 低噪声 YBCO
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刘训春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:晶体管 HBT 电子束曝光 显影 GAAS
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王丽
供职机构:中国电子科技集团公司第十六研究所
研究主题:铟 高灵敏度 剪切试验 接收机 温度循环
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胡来平
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:高温超导 超导 YBCO 滤波器 超导器件
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