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杨海方
作品数:
99
被引量:38
H指数:4
供职机构:
中国科学院物理研究所
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国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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一般工业技术
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合作作者
顾长志
国家纳米科学中心
李俊杰
中国科学院物理研究所
金爱子
中国科学院物理研究所
夏晓翔
中国科学院物理研究所
罗强
中国科学院物理研究所
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顾长志
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:金刚石膜 衬底 金刚石 石墨烯 金刚石薄膜
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李俊杰
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:衬底 石墨烯 定影 金刚石 抗蚀剂
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金爱子
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:聚焦离子束 反应离子刻蚀 电子束 金属硅化物 离子束
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夏晓翔
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:金属 掩膜 金属结构 阵列结构 衬底材料
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所获资助
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罗强
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:反应离子刻蚀 金属硅化物 金属 微带谐振器 衬底
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刘哲
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:自支撑 基底 光刻胶 衬底 离子束辐照
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唐成春
供职机构:河北工业大学
研究主题:氮化硼 六方氮化硼 纳米纤维 荧光粉 纳米片
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尹红星
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:光刻胶 干法刻蚀 光提取效率 金属 紫外光刻
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全保刚
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:湿法腐蚀 光学元件 电子束曝光 定影 电子束光刻
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姜倩晴
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:色心 光子 抗蚀剂 单光子源 单光子
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