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杜博超
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北京大学
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自动化与计算机技术
建筑科学
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合作作者
张海霞
北京大学
陈庆华
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郝一龙
北京大学
吴文刚
北京大学
夏雨
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 微电子机械系统 英文
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陈庆华
供职机构:北京大学
研究主题:微光 玻璃衬底 光反射 光开关 悬臂梁
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张海霞
供职机构:北京大学
研究主题:发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
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吴文刚
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 悬臂梁 各向异性刻蚀 英文 聚焦离子束
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夏雨
供职机构:北京大学
研究主题:单片集成 自适应性 电极 附加值 悬臂梁
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贾鲲鹏
供职机构:北京大学
研究主题:单片集成 自适应性 电极 附加值 悬臂梁
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