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康念坎
作品数:
13
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院电子学研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
王理明
中国科学院电工研究所
张福安
中国科学院电工研究所
吴伟
中国科学院电子学研究所
夏善红
中国科学院电子学研究所
王大椿
北京师范大学核科学与技术学院
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张福安
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 亚微米 电子束 缩小投影电子束曝光
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研究领域
王理明
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:生物芯片 电子束曝光机 DY 电子束曝光 机械结构
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夏善红
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
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郭铸九
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电子枪 低压 真空系统 电子源 大功率
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顾文琪
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
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吴伟
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束 电子光学 曝光机 偏转器
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王大椿
供职机构:北京师范大学核科学与技术学院
研究主题:X光透镜 X射线衍射 X射线衍射技术 X射线 硅
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