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王玮
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H指数:15
供职机构:
西南交通大学
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合作作者
张大成
北京大学
李婷
北京大学
田大宇
北京大学
罗葵
北京大学
杨芳
北京大学
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微电子机械系统 刻蚀 硅 键合
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相关人物
供职机构
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李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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田大宇
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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罗葵
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 成品率 微电子机械系统 淀积 湿法腐蚀
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杨芳
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 微电子机械系统 MEMS器件 牺牲层 淀积
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王宏兴
供职机构:西安交通大学
研究主题:金刚石 单晶金刚石 场效应晶体管 欧姆接触电极 终端
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刘鹏
供职机构:北京大学
研究主题:艺术博物馆 前驱物 衬底 气相外延 MEMS器件
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何军
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 刻蚀 成品率 芯片尺寸 结构层
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问峰
供职机构:西安交通大学
研究主题:单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 欧姆接触电极 高导电
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侯洵
供职机构:西安交通大学
研究主题:光电阴极 单晶金刚石 金刚石 多模叠加态光场 飞秒
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