2024年11月5日
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王彦钦
作品数:
119
被引量:26
H指数:4
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
理学
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
罗先刚
中国科学院光电技术研究所
王长涛
中国科学院光电技术研究所
赵泽宇
吉林大学电子科学与工程学院
黄成
中国科学院光电技术研究所
马晓亮
中国科学院光电技术研究所
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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所获资助
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王长涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
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赵泽宇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
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黄成
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:衍射 多层膜 超分辨 沟槽 天线
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马晓亮
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:亚波长结构 几何相位 超分辨 宽带 大视场
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蒲明博
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:亚波长结构 超分辨 几何相位 宽带 大视场
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杨磊磊
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:多层膜 光刻 超分辨 表面等离子体 衍射
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李雄
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:亚波长结构 几何相位 超分辨 大视场 亚波长
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陶兴
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:衍射 超分辨 多层膜 光刻 金属
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高平
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 承片台 掩模版 表面等离子体
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