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李春龙
作品数:
132
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
李俊峰
中国科学院微电子研究所
闫江
中国科学院微电子研究所
霍宗亮
中国科学院微电子研究所
赵超
中国科学院微电子研究所
唐兆云
中国科学院微电子研究所
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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闫江
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
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赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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霍宗亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 沟道 闪存 介质层 电压
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唐波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
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唐兆云
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 空腔 集成度 刻蚀
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许静
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 隧道结 磁矩 沟道
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王红丽
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 集成度 刻蚀 埋氧层
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杨萌萌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 集成度 衬底 半导体材料 浮体效应
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洪培真
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 刻蚀工艺 纳米线 栅极 半导体器件
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