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张海燕

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 4个理学
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  • 2个机械工程
  • 2个电气工程
  • 2个核科学技术
  • 2个医药卫生
  • 2个一般工业技术
  • 1个经济管理
  • 1个生物学
  • 1个金属学及工艺
  • 1个社会学
  • 1个文化科学
  • 1个兵器科学与技...

主题

  • 3个低介电常数
  • 3个电路
  • 3个电性能
  • 3个电学
  • 2个带隙
  • 2个氮化
  • 2个氮化硅
  • 2个导电性能
  • 2个等离子
  • 2个等离子体
  • 2个等离子体辅助
  • 2个等离子体刻蚀
  • 2个等离子体密度
  • 2个等离子体特性
  • 2个等离子体源
  • 2个低频
  • 2个电化学
  • 2个电化学法
  • 2个电流强度
  • 2个电性质

机构

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  • 2个苏州市第三中...
  • 1个上海交通大学
  • 1个中国科学院等...
  • 1个国防科技大学

资助

  • 4个国家自然科学...
  • 3个江苏省重点实...
  • 2个江苏省自然科...
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  • 2个江苏省高校省...
  • 2个江苏省高校省...
  • 2个江苏省教委自...
  • 1个国家重点基础...

传媒

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  • 2个物理
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  • 1个物理学进展
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地区

  • 3个江苏省
  • 1个上海市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
杜杰
供职机构：苏州大学
研究主题：COH 物性 抑制剂 超大规模集成电路 蛋白结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶超
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）
研究主题：氟化非晶碳薄膜 低介电常数 F 等离子体 介电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宁兆元
供职机构：苏州大学
研究主题：等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞笑竹
供职机构：上海交通大学
研究主题：性能研究 低介电常数 介电性能 SI OH
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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