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孙征宇

作品数：13 被引量：8H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：上海市自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信环境科学与工程更多>>

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地区

  • 24个上海市
共 24 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 照明系统 光刻 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程伟林
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光学元器件 接收器 对接 驱动模块
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱珍梅
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 狭缝 大口径透镜 步进 大行程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任冰强
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张友宝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：检漏装置 生物检测 安全数码卡 光纤 信号处理系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵永凯
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨增辉
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 边界面 包边工艺 包边 防撞装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王振
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 大口径透镜 非平面 防撞装置 多自由度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林栋梁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：狭缝 组件 光刻机 多自由度 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张佩
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：气溶胶粒子 气溶胶 生物气溶胶 重金属 荧光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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