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高娇娇

作品数：16 被引量：46H指数：5
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

领域

  • 19个电子电信
  • 8个理学
  • 7个化学工程
  • 7个金属学及工艺
  • 6个电气工程
  • 5个自动化与计算...
  • 5个环境科学与工...
  • 4个建筑科学
  • 4个一般工业技术
  • 3个文化科学
  • 2个哲学宗教
  • 2个冶金工程
  • 2个交通运输工程
  • 1个矿业工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个轻工技术与工...

主题

  • 18个阻挡层
  • 17个化学机械抛光
  • 17个机械抛光
  • 17个CMP
  • 16个抛光液
  • 15个平坦化
  • 15个去除速率
  • 14个抛光
  • 13个化学机械平坦...
  • 13个铜
  • 12个铜布线
  • 12个碱性抛光液
  • 11个抛光速率
  • 10个碟形
  • 10个碱性
  • 9个多胺
  • 8个电路
  • 8个转速
  • 6个单因素
  • 6个电偶

机构

  • 17个河北工业大学
  • 3个河北大学
  • 1个华北煤炭医学...
  • 1个河北工学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个杭州西湖房地...

资助

  • 18个河北省自然科...
  • 16个国家中长期科...
  • 11个国家科技重大...
  • 11个河北省教育厅...
  • 10个国家自然科学...
  • 7个天津市自然科...
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传媒

  • 17个微纳电子技术
  • 12个半导体技术
  • 8个功能材料
  • 6个稀有金属
  • 6个河北工业大学...
  • 5个电镀与涂饰
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  • 3个天津科技
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  • 3个高电压技术
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  • 3个微电子学
  • 3个第十三届全国...
  • 3个第十四届全国...
  • 3个中国物理学会...
  • 2个稀有金属材料...
  • 2个物理学报
  • 2个高分子材料科...
  • 1个环境工程
  • 1个教育与职业

地区

  • 14个天津市
  • 6个河北省
共 20 条 记 录，以下是 1-10
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡婷
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP TSV 化学机械平坦化 多胺 络合剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈蕊
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 铜布线 抛光液 化学机械抛光 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
崔晋
供职机构：河北大学物理科学与技术学院静电研究所
研究主题：辊式 静电分选 高压放电 等势线 静电场
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹阳
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械平坦化 碟形 铜布线 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张文倩
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 去除速率 铝栅 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马锁辉
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP TSV 阻挡层 化学机械平坦化 多胺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
栾晓东
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 去除速率 碱性 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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