2025年1月8日
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谢常青
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中国科学院微电子研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘明
兰州大学物理科学与技术学院
朱效立
兰州大学物理科学与技术学院
李冬梅
中国科学院微电子研究所
叶甜春
中国科学院微电子研究所纳米加工...
牛洁斌
中国科学院微电子研究所纳米加工...
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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朱效立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
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李冬梅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:敏感膜 延迟线 柔性衬底 光刻胶 气体传感器
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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牛洁斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
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李海亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
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龙世兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
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霍宗亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 沟道 闪存 介质层 电压
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
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梁圣法
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:敏感膜 柔性衬底 气体传感器 采样器 压缩采样
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