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王德强
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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谢常青
中国科学院微电子研究所纳米加工...
叶甜春
中国科学院微电子研究所纳米加工...
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
张立辉
中国科学院微电子研究所纳米加工...
曹磊峰
中国工程物理研究院激光聚变研究...
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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张立辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:单电子晶体管 电子束直写 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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汤跃科
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:数据格式转换 微光刻技术 电子束直写 CIF格式 光学
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范东升
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:纳米压印 纳米压印光刻 T型栅 压印 微细加工
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陆晶
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束直写 电子束光刻 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
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薛丽君
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束直写 ALGAN/GAN_HEMT 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
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任黎明
供职机构:北京大学
研究主题:石墨烯 金属 纳电子学 电子束曝光 光刻胶
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李金儒
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:数据格式转换 CIF格式 电子束直写 微光刻技术 CIF
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