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柳襄怀
作品数:
140
被引量:567
H指数:12
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家自然科学基金
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金属学及工艺
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合作作者
王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
邹世昌
中国科学院兰州化学物理研究所
郑志宏
中国科学院上海冶金研究所上海微...
江炳尧
中国科学院上海微系统与信息技术...
冯涛
华东师范大学理工学院纳光电集成...
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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所获资助
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邹世昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
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所获资助
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郑志宏
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 血液相容性 氮化钛 离子注入
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研究领域
江炳尧
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 离子注入 钼栅极 电子发射 低能
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冯涛
供职机构:华东师范大学
研究主题:碳纳米管 场发射 离子束辅助沉积 场发射显示器 电子发射
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研究领域
任琮欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 超导薄膜 YBCO YBA 钼栅极
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李琼
供职机构:华东师范大学
研究主题:场发射显示器 硅 碳纳米管 场发射阵列 冷阴极
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杨根庆
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子注入 小卫星 单粒子瞬态脉冲 硅
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所获资助
研究领域
徐静芳
供职机构:华东师范大学
研究主题:硅 冷阴极 场发射 场发射阵列 场发射显示器
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所获资助
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张峰
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:血液相容性 氧化钛 氧化钛薄膜 离子注入 热解碳
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