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杨忠山
作品数:
7
被引量:11
H指数:2
供职机构:
中国科学院电工研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
韩立
中国科学院电工研究所
田丰
中国科学院电工研究所
黄经筒
中国科学院电工研究所
王丹丹
中国科学院电工研究所
黄经简
中国科学院电工研究所
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韩立
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 原子力显微镜 扫描探针显微镜 电子束曝光 电流变液
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黄经筒
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:真空电弧 离子镀膜 电弧 沉积速率 掩模
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田丰
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光 微电子产业 高能 环状 纳米级
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供职机构
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谭敏
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 束流 单片机 轰击 光阑
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黄经简
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:硅 微针 微细加工 湿法腐蚀
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王丹丹
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:非线性校正 非线性 图像畸变 测量数据 伸缩量
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