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徐勤志
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中国科学院微电子研究所
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文化科学
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合作作者
陈岚
中国科学院微电子研究所
曹鹤
中国科学院微电子研究所
刘建云
中国科学院微电子研究所
方晶晶
中国科学院微电子研究所
杨飞
中国科学院微电子研究所
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陈岚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余
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曹鹤
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 研磨 冗余 金属 化学机械研磨
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刘建云
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:研磨液 研磨 CMP 平坦性 表面形貌
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方晶晶
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 研磨 仿真方法 表面形貌 版图
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杨飞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 冗余 集成电路版图 互连线 金属
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刘宏伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
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孙艳
供职机构:中国科学院微电子研究所
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张贺
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 CMP 网格 冗余 仿真方法
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李志强
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:频率综合器 收发机 本振信号 综合器 功率放大器
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杨紫薇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP工艺 研磨 仿真系统 仿真方法 接触压力
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