2025年2月26日
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张小峰
作品数:
7
被引量:35
H指数:3
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
魏红振
中国科学院半导体研究所
余金中
中国科学院半导体研究所
史伟
山东大学物理学院晶体材料国家重...
房昌水
山东大学物理学院晶体材料国家重...
刘忠立
中国科学院半导体研究所
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余金中
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SOI 光开关 硅基 波导 多模干涉耦合器
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魏红振
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:集成光学 SOI 光开关 反应离子刻蚀 多模干涉耦合器
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王启明
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:硅基 锗 硅 半导体材料 硅衬底
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房昌水
供职机构:山东大学物理学院晶体材料国家重点实验室
研究主题:KDP晶体 晶体生长 晶体 TGS晶体 热释电
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刘忠立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI FPGA 集成电路 SIMOX 现场可编程门阵列
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史伟
供职机构:山东大学
研究主题:集成光学 陶瓷 SOI TGS晶体 介电性
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夏金松
供职机构:华中科技大学
研究主题:铌酸锂 SOI 干法刻蚀 脊形波导 波导
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严清峰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SOI 集成光学 光开关 电光开关 刻蚀
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韩伟华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:硅基 晶体管 纳米线 硅纳米线 硅衬底
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