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崔进

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 5个理学
  • 2个电子电信
  • 2个电气工程
  • 2个一般工业技术
  • 1个化学工程
  • 1个机械工程
  • 1个核科学技术
  • 1个医药卫生
  • 1个文化科学

主题

  • 5个刻蚀
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  • 3个等离子体
  • 3个CHF
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  • 2个等离子体发射
  • 2个等离子体发射...
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机构

  • 5个苏州大学
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资助

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  • 1个江苏省高校省...
  • 1个江苏省高校省...
  • 1个江苏省教委自...
  • 1个江苏省重点实...

传媒

  • 5个苏州大学学报...
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  • 1个功能材料
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  • 1个大学物理实验
  • 1个材料科学与工...
  • 1个物理教师
  • 1个中国真空学会...

地区

  • 5个江苏省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
叶超
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）
研究主题：氟化非晶碳薄膜 低介电常数 F 等离子体 介电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卉敏
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题：等离子体刻蚀 O CHF 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓艳红
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题：等离子体刻蚀 CHF O
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周峰
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题：等离子体刻蚀 O
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱侬
供职机构：苏州大学
研究主题：DLC 磁控溅射 SI薄膜 SIC 血液相容性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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