2025年1月8日
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刘瑞鸿
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上海交通大学
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自动化与计算机技术
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合作作者
何明轩
上海交通大学
赵小林
上海交通大学
陈欣
上海交通大学
汪红
上海交通大学
丁桂甫
上海交通大学
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何明轩
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 校准 微机电系统 电容式 差分
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赵小林
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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陈欣
供职机构:上海交通大学
研究主题:自校准 标记点 工作台 位姿 最小二乘原理
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冯建智
供职机构:上海交通大学
研究主题:光开关 微型马达 微型机器人 MEMS 微继电器
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