2024年7月20日
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鲁净
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3
被引量:4
H指数:1
供职机构:
清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王燕
清华大学信息科学技术学院微电子...
余志平
清华大学信息科学技术学院微电子...
薛丽君
中国科学院微电子研究所纳米加工...
夏洋
中国科学院微电子研究所纳米加工...
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
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王燕
供职机构:清华大学
研究主题:注射针头 经皮给药 微针 控制部件 注射器
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS 等离子体
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薛丽君
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束直写 ALGAN/GAN_HEMT 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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余志平
供职机构:清华大学
研究主题:石墨烯 英文 电路 集成电路设计 螺旋电感
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禡龙
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:泊松方程 AL XGA 薛定谔方程 流体力学方程
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马杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 MM 衍射效率 透射光栅
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祃龙
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:HEMT ALGAN/GAN 二维电子气 小信号模型 I-V特性
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邵雪
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:FET模型 亚阈值特性 非平衡态 格林函数方法 量子线
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