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徐德权
作品数:
7
被引量:8
H指数:2
供职机构:
中国科学技术大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
付绍军
中国科学技术大学核科学技术学院...
刘颖
中国科学技术大学核科学技术学院...
徐向东
中国科学技术大学核科学技术学院...
洪义麟
中国科学技术大学核科学技术学院...
徐作冬
中国科学技术大学核科学技术学院...
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刘颖
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射光栅 全息光刻
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付绍军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
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徐向东
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻
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洪义麟
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
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徐作冬
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:衍射光学元件 刻蚀深度 扫描式 在线检测 光学平面
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周小为
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:离子束刻蚀 衍射光学元件 大尺寸 衍射效率 刻蚀深度
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徐朝银
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:光束线 NSRL 波荡器 X射线衍射 衍射
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汪啸
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光束线 PLC 联锁 可编程控制器 超高真空
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姚传荣
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光束线 控制系统 传感器 PLC 可编程控制器
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赵飞云
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:NSRL 光束线 前端 溅射离子泵 储存环
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