2025年1月22日
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刘轩
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供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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自动化与计算机技术
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合作作者
刘伟
中国科学院长春光学精密机械与物...
黄波
中国科学院长春光学精密机械与物...
田兴志
中国科学院长春光学精密机械与物...
张德龙
中国科学院长春光学精密机械与物...
田学光
中国科学院长春光学精密机械与物...
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刘伟
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:成像光谱仪 反射镜 控制装置 刚度 支撑结构
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所获资助
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黄波
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:边缘检测 全自动 芯片 图像识别 测距传感器
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张德龙
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:机械手 激光调阻机 转台 运动控制器 传感器输出
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田兴志
供职机构:长春理工大学机电工程学院
研究主题:激光调阻 光刻 控制系统 薄膜电阻 激光
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田学光
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:转台 压头 封装设备 倒扣 触头
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王洋
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:非接触式 扫描镜 误差分析 激光 大口径望远镜
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吴玉斌
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光刻 激光调阻机 传感器输出 传感器控制 保护装置
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孙继凤
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:激光调阻 激光调阻机 控制系统 片式电阻 光刻
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