2025年3月26日
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陈海滨
作品数:
3
被引量:5
H指数:2
供职机构:
有色金属研究总院
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相关领域:
金属学及工艺
电子电信
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合作作者
肖清华
有色金属研究总院
周旗钢
有色金属研究总院
万关良
有色金属研究总院
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肖清华
供职机构:有色金属研究总院
研究主题:硅片 厚度检测 损伤层 双晶衍射 表面粗糙度
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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万关良
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅单晶 直拉硅单晶 电阻率 氧
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