2024年12月31日
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王春洪
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9
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H指数:5
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清华大学
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合作作者
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
尹文生
清华大学机械工程学院精密仪器与...
段广洪
清华大学机械工程学院精密仪器与...
杨一博
清华大学机械工程学院精密仪器与...
程嘉
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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杨一博
供职机构:清华大学
研究主题:PID自整定 高温氧化 扩散炉 温度控制 并联驱动
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程嘉
供职机构:清华大学
研究主题:纳米发电机 静电 卡盘 静电力 摩擦起电
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张明超
供职机构:清华大学
研究主题:穿戴 石墨烯 应变传感器 蚕丝 电子器件
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徐登峰
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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宋亦旭
供职机构:清华大学
研究主题:刻蚀 元胞 微电子加工 机器人 刻蚀工艺
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
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曹家勇
供职机构:上海应用技术学院机械工程学院
研究主题:开关磁阻电动机 磁浮 工件台 平面电动机 平面电机
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