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刘梅
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3
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供职机构:
清华大学
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国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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机械工程
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合作作者
林浩山
清华大学机械工程学院精密仪器与...
李玉和
清华大学机械工程学院精密仪器与...
郑静琳
清华大学机械工程学院精密仪器与...
王东生
清华大学
廖小华
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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李玉和
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:柔性铰链 微装配 近场光存储 深亚微米 刻录机
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所获资助
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林浩山
供职机构:广西师范大学物理科学与技术学院
研究主题:外差干涉 光学测量 粗糙度 相移干涉 相移
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王东生
供职机构:清华大学
研究主题:热释电 相移干涉术 压电双晶片 被动调Q 信号处理
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李庆祥
供职机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题:集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
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郑静琳
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:柔性铰链 精密定位工作台 微位移 BP神经网络 压电陶瓷
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廖小华
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:外差干涉 轻敲模式 超光滑表面 压电双晶片 激光干涉
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