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刘梅

作品数:5 被引量:5H指数:2
供职机构:中国科学院电子学研究所更多>>
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夏善红
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
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张建刚
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:SI 温度系数 自组装 微器件 微电子机械系统
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吕曜
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 自组装 电场 微尺度 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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