2025年1月3日
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刘梅
作品数:
5
被引量:5
H指数:2
供职机构:
中国科学院电子学研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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电气工程
电子电信
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合作作者
夏善红
中国科学院电子学研究所
吕曜
中国科学院电子学研究所
张建刚
中国科学院电子学研究所
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夏善红
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
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张建刚
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:SI 温度系数 自组装 微器件 微电子机械系统
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供职机构
所获资助
研究领域
吕曜
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 自组装 电场 微尺度 微机电系统
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