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于晓梅
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78
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北京大学
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张大成
北京大学微电子学研究院
李婷
北京大学微电子学研究院
李修函
北京大学信息科学技术学院微米纳...
刘毅
北京大学
王阳元
北京大学
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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李修函
供职机构:北京交通大学
研究主题:流体 超材料 扩散 刻蚀 微系统
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刘毅
供职机构:南开大学
研究主题:皇陵 陵墓 明代 电极 陶瓷
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文永正
供职机构:北京大学
研究主题:平面阵列 红外焦平面阵列 成像器件 超材料 MEMS技术
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王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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汤雅权
供职机构:北京大学
研究主题:电极 电容式 谐振器 单片集成 亚微米
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田源
供职机构:北京大学
研究主题:仪表放大器 SOI工艺 工作波长 集成化 短沟效应
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张海涛
供职机构:北京大学
研究主题:单片集成 MEMS SOI 悬臂梁 集成化
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马盛林
供职机构:北京大学
研究主题:键合 通孔 互连结构 制作方法 TSV
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