2024年8月22日
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燕斌
作品数:
22
被引量:27
H指数:4
供职机构:
西北工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
乔大勇
西北工业大学机电学院空天微纳系...
苑伟政
西北工业大学机电学院空天微纳系...
李晓莹
西北工业大学机电学院空天微纳系...
孙瑞康
西北工业大学机电学院空天微纳系...
虞益挺
西北工业大学机电学院空天微纳系...
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乔大勇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
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所获资助
研究领域
苑伟政
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
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李晓莹
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
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孙瑞康
供职机构:西北工业大学
研究主题:SOI晶圆 微细加工 微机械 微机电系统 衍射特性
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虞益挺
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
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刘耀波
供职机构:西北工业大学
研究主题:扫描镜 微机电系统 绝缘体上硅 沟道 刻蚀
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李太平
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 衍射特性 掩膜版 SOI晶圆 高深宽比
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田力
供职机构:西北工业大学
研究主题:机翼 机身 螺旋桨 鸭翼 旋翼
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康宝鹏
供职机构:上海微小卫星工程中心
研究主题:沟道 刻蚀 氧化层 硅片表面 星务计算机
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杨璇
供职机构:西北工业大学
研究主题:沟道 刻蚀 静电驱动 扫描镜 氧化层
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