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沈攀
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清华大学
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合作作者
路新春
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
何永勇
清华大学
王同庆
清华大学
许振杰
清华大学
雒建斌
清华大学
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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何永勇
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
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王同庆
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
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许振杰
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 修整器 机械手 抛光液 组件
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雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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裴召辉
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研究主题:晶圆 刷洗 毛刷 机械手 组件
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赵德文
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
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梅赫赓
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 刷洗 抛光液 毛刷 侧板
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张连清
供职机构:清华大学
研究主题:侧板 基板 修整器 机械手 装卸
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徐海滨
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 干燥装置 机械手 组件 装载装置
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