2024年7月17日
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林钢
作品数:
6
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
徐秋霞
中国科学院微电子研究所
钟兴华
中国科学院微电子研究所
周华杰
中国科学院微电子研究所
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徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
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所获资助
研究领域
钟兴华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 叠层栅介质 CMP 击穿 英文
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相关人物
供职机构
所获资助
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周华杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 鳍片 自顶向下 沟道效应 硅化
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