2024年8月22日
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张卫青
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东南大学
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刘海韵
供职机构:东南大学
研究主题:多晶硅 残余应力 绝缘衬底 热膨胀系数 偏转
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李伟华
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
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蒋明霞
供职机构:东南大学
研究主题:衬底 多晶硅 残余应力 偏转 测量方法
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相关人物
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所获资助
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周再发
供职机构:东南大学
研究主题:残余应力 绝缘衬底 杨氏模量 多晶硅 元胞自动机
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供职机构
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