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宋毅

作品数：16 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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  • 2个北京市
共 2 条 记 录，以下是 1-2
徐秋霞
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周华杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 鳍片 自顶向下 沟道效应 硅化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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