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5 条 记 录,以下是 1-5
周宗义
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底温度 反应离子刻蚀 硅片 辉光放电 辉光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 掩模 干法刻蚀 深亚微米 X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王佳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微电子技术 微电子 启辉 真空室 衬底温度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘训春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:晶体管 HBT 电子束曝光 INP 英文
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄清华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:LNA X波段 功率放大器 低噪声放大器 低噪声
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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