2024年8月28日
星期三
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李钟哲
作品数:
5
被引量:4
H指数:2
供职机构:
清华大学理学院化学系
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发文基金:
国家自然科学基金
北京市自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
洪啸吟
清华大学理学院化学系
刘丹
清华大学理学院化学系
董桂荣
清华大学
陈明
清华大学理学院化学系
卢建平
清华大学理学院化学系
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洪啸吟
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 光固化 涂料 光刻 光刻胶
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刘丹
供职机构:辽宁师范大学化学化工学院
研究主题:聚丁二酸丁二醇酯 NEUMANN 纠缠度 无显影气相光刻 聚丁二酸丁二酯
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刘密新
供职机构:清华大学
研究主题:挥发油 中药复方 质谱 MS 电子束辐照
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供职机构
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卢建平
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 曝光量 光刻 甲胺基 刻蚀深度
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供职机构
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董桂荣
供职机构:清华大学
研究主题:高聚物 无显影气相光刻
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王培清
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 光刻胶 晶闸管 刻蚀 曝光量
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吴兵
供职机构:清华大学理学院化学系
研究主题:光刻胶 HMMM 负性 集成电路 水型
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陈明
供职机构:清华大学理学院物理系
研究主题:紫外光固化 丙烯酸酯 多元醇 光致抗蚀剂 环氧-丙烯酸酯
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段生权
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 光刻胶 氮化硅 刻蚀 二氧化硅
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