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李钟哲

作品数:5 被引量:4H指数:2
供职机构:清华大学理学院化学系更多>>
发文基金:国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信理学更多>>

领域

  • 9个电子电信
  • 6个理学
  • 5个化学工程
  • 4个金属学及工艺
  • 4个电气工程
  • 4个医药卫生
  • 3个生物学
  • 3个一般工业技术
  • 2个经济管理
  • 2个石油与天然气...
  • 2个机械工程
  • 2个环境科学与工...
  • 2个文化科学
  • 1个建筑科学
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个交通运输工程
  • 1个农业科学
  • 1个历史地理

主题

  • 9个无显影气相光...
  • 9个光刻
  • 7个氧化硅
  • 7个氢氟酸
  • 7个光刻胶
  • 7个二氧化硅
  • 7个分辨率
  • 7个分子
  • 6个高分子
  • 4个电路
  • 4个树脂
  • 3个抗蚀剂
  • 2个导电高分子
  • 2个电动机
  • 2个电机
  • 2个电阻
  • 2个学成
  • 2个衍生物
  • 2个阳极
  • 2个有机光化学

机构

  • 9个清华大学
  • 2个教育部
  • 1个辽宁师范大学
  • 1个中国科学院
  • 1个天津中医学院
  • 1个国家自然科学...

资助

  • 9个北京市自然科...
  • 9个国家自然科学...
  • 3个国家重点基础...
  • 2个国家教育部博...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个辽宁省教育厅...
  • 1个辽宁省高等学...
  • 1个辽宁省高校创...
  • 1个辽宁省自然科...
  • 1个内蒙古自治区...
  • 1个卫生部部属(...
  • 1个清华大学校科...

传媒

  • 7个高分子通报
  • 7个高分子学报
  • 6个感光科学与光...
  • 4个清华大学学报...
  • 3个高等学校化学...
  • 3个半导体技术
  • 3个化工进展
  • 2个化学通报
  • 2个涂料工业
  • 2个有机化学
  • 2个分析测试学报
  • 2个电力电子技术
  • 2个国际学术动态
  • 2个2001年全...
  • 1个分析化学
  • 1个现代科学仪器
  • 1个塑料
  • 1个中国涂料
  • 1个精细与专用化...
  • 1个中国卫生检验...

地区

  • 8个北京市
  • 1个辽宁省
9 条 记 录,以下是 1-9
洪啸吟
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 光固化 涂料 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘丹
供职机构:辽宁师范大学化学化工学院
研究主题:聚丁二酸丁二醇酯 NEUMANN 纠缠度 无显影气相光刻 聚丁二酸丁二酯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘密新
供职机构:清华大学
研究主题:挥发油 中药复方 质谱 MS 电子束辐照
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢建平
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 曝光量 光刻 甲胺基 刻蚀深度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董桂荣
供职机构:清华大学
研究主题:高聚物 无显影气相光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王培清
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 光刻胶 晶闸管 刻蚀 曝光量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴兵
供职机构:清华大学理学院化学系
研究主题:光刻胶 HMMM 负性 集成电路 水型
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈明
供职机构:清华大学理学院物理系
研究主题:紫外光固化 丙烯酸酯 多元醇 光致抗蚀剂 环氧-丙烯酸酯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段生权
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 光刻胶 氮化硅 刻蚀 二氧化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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