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李宝清

作品数：8 被引量：23H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
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共 13 条 记 录，以下是 1-10
陆德仁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院广州能源研究所
研究主题：微机械 硅 基片 热电转换效率 片状
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邹强
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：电容式 加速度传感器 微机械 对称体 电容式加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡少坚
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：晶体管 漏极 刻蚀工艺 图像 场效应晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张冶文
供职机构：同济大学电子与信息工程学院
研究主题：空间电荷 低密度聚乙烯 空间电荷分布 聚乙烯 驻极体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何国鸿
供职机构：浙江大学信息与电子工程学系
研究主题：陀螺 微机械 静电陀螺 无源 微电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张晓青
供职机构：同济大学
研究主题：驻极体 压电 压电性 微孔结构 功能膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
崔卫东
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁场 CAD 仿真
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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