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张运波

作品数：20 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：上海市科技人才计划项目国际科技合作与交流专项项目国家科技重大专项更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

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  • 9个上海市
共 9 条 记 录，以下是 1-9
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：起偏器 光刻机 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 照明系统 光刻 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王莹
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：锥角 聚焦透镜 图像传感器 投影光刻机 分光镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈明星
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光学元器件 接收器 驱动模块 转角 旋转轴
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈立群
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：步进 光束 光刻机 激光输出 相位延迟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱玲琳
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：起偏器 波片 计算机组成 方位角 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁乔
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：测量方法 面形 锥角 干涉仪 起偏器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程伟林
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光学元器件 接收器 对接 驱动模块
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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