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李睿
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北京大学
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合作作者
胡晓东
北京大学物理学院宽禁带半导体研...
杨芳
北京大学
张立
北京大学
张大成
北京大学
张国义
北京大学物理学院宽禁带半导体研...
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胡晓东
供职机构:北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室
研究主题:GAN 氮化镓 GAN基激光器 氮化物 MOCVD
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杨芳
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 微电子机械系统 MEMS器件 压阻式压力传感器 牺牲层
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张立
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 变化检测 长梁 压力计 机械可靠性
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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张国义
供职机构:北京大学
研究主题:氮化镓 GAN MOCVD 发光二极管 衬底
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杨志坚
供职机构:北京大学
研究主题:GAN 氮化镓 位错 MOCVD 衬底
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陈伟华
供职机构:北京大学
研究主题:GAN 氮化镓 氮化物 干法刻蚀 峰值波长
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王玮
供职机构:北京大学
研究主题:单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 硅基 键合
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何军
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 刻蚀 成品率 芯片尺寸 结构层
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徐科
供职机构:北京大学
研究主题:氮化镓 GAN 氮化物半导体材料 高性能 氮化镓基激光器
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