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朱立伟
作品数:
8
被引量:8
H指数:2
供职机构:
清华大学
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国家重点基础研究发展计划
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机械工程
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电子电信
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合作作者
尹文生
清华大学机械工程学院精密仪器与...
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
段广洪
清华大学机械工程学院精密仪器与...
杨开明
清华大学
于晖
清华大学
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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徐登峰
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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杨学智
供职机构:清华大学
研究主题:硅片 气浮轴承 成球 超精密定位 步进
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
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王建发
供职机构:清华大学
研究主题:硅片 气浮轴承 超精密定位 步进 工位
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于晖
供职机构:清华大学
研究主题:半导体设备 离子注入机 平面并联机构 传动链 离子注入
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汪劲松
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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