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包晓清

作品数：7 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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共 10 条 记 录，以下是 1-10
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宫昌萌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅片 多孔硅 无痛注射 微针 生物组织
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱自强
供职机构：华东师范大学
研究主题：SUB 半导体材料 硅片 半导体硅 多孔硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王连卫
供职机构：华东师范大学
研究主题：微通道板 硅 多孔硅 微通道 电化学刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 固定相 热导检测器 微机电系统 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史明甫
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：机械系统 离子束刻蚀 微流控芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱敏
供职机构：华东师范大学
研究主题：多孔硅 丝网印刷 英文 一维光子晶体 光子晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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