2025年1月15日
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骆志炯
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332
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
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合作作者
朱慧珑
中国科学院微电子研究所
尹海洲
中国科学院微电子研究所
梁擎擎
中国科学院微电子研究所
钟汇才
中国科学院微电子研究所
刘佳
中国科学院微电子研究所
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朱慧珑
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
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尹海洲
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 半导体结构 沟道 鳍片 栅极
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梁擎擎
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 介质层 半导体 沟道 半导体结构
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钟汇才
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 介质层 栅极 衬底 侧墙
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刘佳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氧化层 半导体器件 半导体结构 刻蚀 晶体管
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王鹤飞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底 氧化层 半导体结构 刻蚀 晶体管
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罗军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 金属硅化物 衬底 半导体
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朱正勇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:沟道 电子设备 半导体器件 衬底 负电
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陈率
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体 存储器阵列 穿通 半导体器件 沟槽隔离
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蒋葳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 半导体结构 沟道 沟槽隔离 衬底
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