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韩勇
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62
被引量:82
H指数:5
供职机构:
中国科学院高能物理研究所
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合作作者
张菊芳
中国科学院高能物理研究所
伊福廷
清华大学机械工程学院精密仪器与...
彭良强
北京机电研究所
赵屹东
中国科学院高能物理研究所
郑雷
中国科学院高能物理研究所
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张菊芳
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 微细加工 LIGA 掩模 电火花加工
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伊福廷
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
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彭良强
供职机构:中国科学院
研究主题:LIGA技术 微细加工 电火花加工 LIGA 微细电火花加工
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赵屹东
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:软X射线 X射线 光束线 XANES 反射率
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郑雷
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:软X射线 北京同步辐射装置 X射线 光束线 硫
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田玉莲
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:晶体缺陷 晶体 形貌 天然金刚石 位错
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王功利
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:PC机 接口板 形貌 BSRF 步进电机
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崔明启
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:软X射线 多层膜 北京同步辐射装置 反射率 电离室
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蒋建华
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:晶体生长 晶体缺陷 天然金刚石 生长带 形貌
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黄军容
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 PMMA 微细加工 微细电火花加工 电火花加工
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