2024年12月31日
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马旭
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94
被引量:13
H指数:2
供职机构:
北京理工大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家科技重大专项
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
文化科学
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合作作者
李艳秋
北京理工大学光电学院
董立松
北京理工大学
王志强
北京理工大学
高杰
北京理工大学
汪杰
北京理工大学
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李艳秋
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
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董立松
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 矢量 成像模型 光源 掩模
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王志强
供职机构:北京理工大学
研究主题:光刻系统 感知技术 光源 目标成像 电路版图
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高杰
供职机构:北京理工大学
研究主题:成像模型 光源 光刻系统 抗侵彻性能 冲击波
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贡萨洛·阿尔塞
供职机构:北京理工大学
研究主题:成像分辨率 层模型 掩膜 边界层 干点
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汪杰
供职机构:北京理工大学
研究主题:光学邻近效应 紫外光刻 掩模 伴随式 旋转连接器
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张昊
供职机构:北京理工大学
研究主题:线接触 阶梯孔 木马 网页木马 上网用户
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刘丽辉
供职机构:北京理工大学
研究主题:光刻物镜 光刻机 波像差 投影物镜 平面反射镜
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施东向
供职机构:北京理工大学
研究主题:感知技术 光源 光刻系统 目标成像 电路版图
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赵雪娇
供职机构:北京理工大学
研究主题:采样率 感知技术 信号接收器 基于信号 扩展卡尔曼滤波
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